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關(guān)于刻蝕

來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2025年03月21日 17:03  

刻蝕,是指用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程??涛g的基本目的,是在涂膠(或有掩膜)的硅片上正確的復(fù)制出掩膜圖形。


刻蝕,通常是在光刻工藝之后進(jìn)行。我們通常通過刻蝕,在光刻工藝之后,將想要的圖形留在硅片上。從這一角度而言,刻蝕可以被稱之為最終的和最主要的圖形轉(zhuǎn)移工藝步驟。在通常的刻蝕過程中,有圖形的光刻膠層〔或掩膜層)將不受到腐蝕源顯著的侵蝕或刻蝕,可作為掩蔽膜,保護(hù)硅片上的部分特殊區(qū)域,而未被光刻膠保護(hù)的區(qū)域,則被選擇性的刻蝕掉。


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