蒸餾水是蒸餾水,去離子水是去離子水,兩個不一樣的
從自來水到去離子水一般要經過幾步處理
先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質
再分別依次通過陰陽離子交換柱去除離子
然后加壓通過反滲透膜
zui后一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物
假如此時電阻率還沒有達到要求的話
可以再進行一次離子交換和反滲透過程
而蒸餾水只是先氣化再冷凝
純度一般不如去離子水
實際半導體工業(yè)中用的大多數是去離子水
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