KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特點

工藝耐性好：屬于 SDH 系列，具有 Super Hirsch 對應和工藝耐性的特點，能適應各種復雜工藝環(huán)境。

無油干式設計：采用無潤滑油機械結構，可避免介質污染，適用于如半導體晶圓制造等超潔凈工藝環(huán)境。

氮氣吹掃功能：支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內(nèi)調節(jié)，增強了工藝靈活性。

抽氣能力較強：最大抽速可達 30,000L/min，極限壓力為 0.5Pa，能快速有效地抽取氣體，滿足不同應用場景的真空需求。

高效節(jié)能：通過新型加熱器系統(tǒng)與機械結構優(yōu)化，實現(xiàn)低功耗化，功率為 3.3kW。

外形尺寸緊湊：長度為 910mm、寬度為 420mm，高度為 900mm，機身較為小巧，節(jié)省安裝空間。

冷卻水需求低：冷卻水流量僅需 4.0L/min，對冷卻系統(tǒng)要求不高，可降低運行成本和設備復雜度。

安全可靠：符合工業(yè)安全標準，配備高安全性防護設計，能在工況下穩(wěn)定運行。

產(chǎn)品兼容性好：支持與同系列設備協(xié)同工作，可擴展應用場景，例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

應用領域廣泛：適用于化工、電子 / 電池、半導體制造、實驗室等領域，可用于晶圓加工、蝕刻等關鍵工藝的真空環(huán)境控制，以及高純度實驗環(huán)境及腐蝕性氣體處理。