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【小王子上新】UPC系列UPC-4CW2-C150H
應(yīng)用
任何壓力都可以通過電信號設(shè)定。
當(dāng)多個質(zhì)量流量連接到一條管線時，壓力會被調(diào)整，以使氣體流量的快速波動不會影響其他質(zhì)量流量。
可用作晶圓背面冷卻的控制器。
用于下游壓力控制。
特征
●工作原理：內(nèi)置壓力傳感器，保持壓力恒定。
●可通過電信號設(shè)定任意壓力。
●在質(zhì)量流量控制器的上游連接時，可以進行非常穩(wěn)定的流量控制。
●當(dāng)多個質(zhì)量流量控制器連接到一條線路時，氣體流量的突然波動可能會影響其他質(zhì)量流量控制器。在這種情況下，使用 UPC 系列可以防止這種影響（下游壓力控制型）。
●UPCUS（上游壓力控制型）保持MO-CVD等液源的內(nèi)部壓力恒定，提高汽化量的穩(wěn)定性。
●可用作晶片背面冷卻的控制器。還提供帶流量監(jiān)控器的高溫型（150°C、250°C）。
●可用于從半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池板等技術(shù)產(chǎn)業(yè)到一般產(chǎn)業(yè)的廣泛領(lǐng)域的壓力控制。
●兼容DeviseNet TM接口（請注明）。符合 RoHS 標(biāo)準：本產(chǎn)品符合 RoHS 規(guī)定并且是環(huán)保的。
規(guī)格
| 模型 | UPC （下游壓力控制器） | FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet) | |
|---|---|---|---|
| 壓力范圍 | FS 13.3kPa abs.(100Torr) | FS 150/300/500kPa | FS 150/300/500kPa |
| 控制壓力范圍 | 1 到 100% | 1 至 100% *1 | |
| 控制閥CV值 | - | L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03 | |
| 壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng) （自動調(diào)零后） | 1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP | FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至 100%：±0.5% SP] | |
| 供氣壓力范圍 | 0 至 200kPaG | ～897.3kPaG | - |
| 耐壓性 | 200kPaG | 1MPaG | |
| 外部泄漏 | ＜1.0×10 -10 Pa?m3 /sec | ||
| 使用溫度范圍 | 0～50℃（系統(tǒng)保證溫度范圍：15～35℃）*2 | ||
| 電源電壓、電流消耗 | +15VDC：120mA，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至 25VDC，4.0W | ||
| 壓力設(shè)定/輸出信號 | 0-10VDC/0-10VDC | 0-5VDC/0-5VDC | |
| 接液部分材料 | SUS316L，鎳鈷合金 | SUS316L，鎳鈷合金，F(xiàn)S9 | |
| 連接配件/尺寸 | 1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm) | 1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm) | |
