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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

日本irs 半導(dǎo)體過程溫度監(jiān)控器NTM-DeLTA/NTM-ETA

特征

1.原位、非接觸式過程溫度監(jiān)測(cè)

2.實(shí)時(shí)發(fā)射率和溫度測(cè)量（同一測(cè)量點(diǎn)）

3.實(shí)現(xiàn)高靈敏度和寬動(dòng)態(tài)范圍

4.支持高采樣率（~3kHz）

5.接口豐富

6.ETA和DeLTA配合使用可自動(dòng)輸入發(fā)射率

目的

1.RTP流程

2.物理氣相沉積工藝

3.CVD工藝

4.蝕刻工藝

5.MOCVD工藝等

我們的實(shí)時(shí)發(fā)射率校正型半導(dǎo)體工藝溫度監(jiān)控器可以實(shí)時(shí)測(cè)量和校正目標(biāo)晶圓的發(fā)射率，這在以前是不可能的，因此無論晶圓薄膜的類型如何，都可以實(shí)現(xiàn)精確的溫度測(cè)量。

日本irs 半導(dǎo)體過程溫度監(jiān)控器NTM-DeLTA/NTM-ETA

特征

1.原位、非接觸式過程溫度監(jiān)測(cè)

2.實(shí)時(shí)發(fā)射率和溫度測(cè)量（同一測(cè)量點(diǎn)）

3.實(shí)現(xiàn)高靈敏度和寬動(dòng)態(tài)范圍

4.支持高采樣率（~3kHz）

5.接口豐富

6.ETA和DeLTA配合使用可自動(dòng)輸入發(fā)射率

目的

1.RTP流程

2.物理氣相沉積工藝

3.CVD工藝

4.蝕刻工藝

5.MOCVD工藝等

公司簡(jiǎn)介

深圳九州工業(yè)品有限公司，坐落于深圳市，是一

家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子

產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國(guó)內(nèi)貿(mào)

易、經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈，采

用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式，把零散采購(gòu)訂單集

中處理，流程簡(jiǎn)化，提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美

國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣建專業(yè)國(guó)際采

購(gòu)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問、銷售團(tuán)隊(duì)為各種領(lǐng)域提供各

類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過與

廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國(guó)外生產(chǎn)廠

家建立了長(zhǎng)久合作伙伴關(guān)系。

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