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關(guān)于原位芯片你需要知道的?

閱讀:2290      發(fā)布時(shí)間:2020-9-27
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  原位芯片也叫原位合成芯片,原位芯片的主要材質(zhì)是硅,表層覆蓋納米級(jí)氮化硅薄膜。電子級(jí)的氮化硅薄膜實(shí)際上是一種硅氮化合物,常用作微電子技術(shù)電絕緣層,通過(guò)化學(xué)氣相沉積或者等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)制造的。而選擇氮化硅薄膜的理由是因?yàn)樗鳛榧呻娐沸酒鈱逾g化膜和保護(hù)膜有優(yōu)勢(shì)。氮化硅硬度大,耐磨耐劃,致密性好,針孔少,掩蔽能力強(qiáng),抗氧化能力強(qiáng)。因此,包括鈉、水蒸氣等幾乎不會(huì)對(duì)其造成麻煩。所以帶有原位芯片的電子顯微鏡可以觀測(cè)能力將大幅度提高,能全程高清拍攝每個(gè)原子的變化和運(yùn)動(dòng)軌跡。
  超新芯提供的高分辨自封閉原位芯片top chip,spacer,bottom chip鍵合組成,可實(shí)現(xiàn)液相或氣相反應(yīng)的原位TEM原子級(jí)高分辨成像。適用于原位液體及氣體樣品封裝,適用于所有TEMSTEM樣品桿。

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