勻膠顯影機(jī)  

勻膠顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺面式設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。  

不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中的zui大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。  

主要性能指標(biāo)：

主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）  

旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒  

轉(zhuǎn)動速度：0-5,000rpm（更高速可選）  

旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（空載）  

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差<±1rpm  

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性<1rpm  

工藝時(shí)間設(shè)定：0-3,000sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec  

支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）  

標(biāo)準(zhǔn)配置兩路噴液系統(tǒng)（顯影液和去離子水）

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：  

主機(jī)在之前的勻膠機(jī)上升級，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋  

全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果  

可實(shí)現(xiàn)zui多獨(dú)立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進(jìn)行氮?dú)獯蹈? 

控制器可實(shí)現(xiàn)程序自動控制噴液或進(jìn)行手動操作，使用更加方便  

顯影系統(tǒng)可進(jìn)行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進(jìn)行配置  

提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計(jì)  

高可靠性和重復(fù)性，高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選  

可添加去邊膠和背膠清洗功能