激光干涉儀是一種利用波（通常是光波、無線電波或聲波）干涉現(xiàn)象的測量儀器，測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。也被用來描述使用光波研究位移變化的技術(shù)。這種位移測量干涉法廣泛應(yīng)用于精密加工中的標(biāo)定和機(jī)械級運動控制。
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。
若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
激光干涉儀是以波長為基本計量單位的，多波長激光器的發(fā)展，是實現(xiàn)不同長度“尺子”的基礎(chǔ)。激光器可以穩(wěn)定地輸出多種波長的激光，利用光學(xué)拍波技術(shù)，可以將這些單波長合成為一組波長相近、間隔均勻的“合成波長鏈”。“合成波長鏈”是一個塔形結(jié)構(gòu)，塔頂是高一級合成波，其波長長，塔底則是單波長。測量時，干涉儀以不同波長的激光工作，從長波開始，逐級下降，直至單波長。的測量結(jié)果是在各種波長干涉下的一組剩余相位，以此可推導(dǎo)出總測量長度，由于每次的測量值都是剩余相位，與測量過程無關(guān)，儀器因此不需要導(dǎo)向?qū)к墶?/div>
