測(cè)量臺(tái)操作方式

手動(dòng)

自動(dòng)

測(cè)量行程

單位(mm)

170 × 110

300 × 280

移動(dòng)量

X(mm)

70

80

Y(mm)

70

60

Z(mm)

80（測(cè)定物高zui大150）

50

測(cè)定物高（zui大）

80（150可選）

50

外形(mm)

600(W)×465(D)×730(H)

重量(kg)

79

85

測(cè)量臺(tái)載重(kg)

3

1

電源

AC200V±10V

X線源

油浸式小型微焦點(diǎn)Ｘ線管
管電圧50kV
管電流可変

照射方式

上面垂直照射方式

検出器

比例計(jì)數(shù)管

準(zhǔn)直孔

5種類(自動(dòng)切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(可選換如下準(zhǔn)直孔)
：0.05×0.5,0.05φ

樣品觀察

CCD鏡頭

測(cè)定対象

原子番號(hào)22(Ti)～82(Pb)
原子番號(hào)21以下可應(yīng)用吸收法測(cè)量

濾波器

 (Co、Ni)自動(dòng)切換

厚度測(cè)定范圍

原子番號(hào)22～24：0.2～約20μm
原子番號(hào)25～40：0.1～約30μm
原子番號(hào)41～51：0.2～約70μm
原子番號(hào)52～82：0.05～約10μm

検量線

検量線自動(dòng)作成

測(cè)量功能

単層膜厚測(cè)定
2層膜厚測(cè)定
3層膜厚測(cè)定
合金膜厚成分比同時(shí)測(cè)定
無電解膜厚測(cè)定

測(cè)量模式

自動(dòng)測(cè)量
X-Ray功率可選擇

自動(dòng)測(cè)量臺(tái)功能

測(cè)定位置(X-Y-Z)
同一點(diǎn)重復(fù)測(cè)量功能
原點(diǎn)補(bǔ)正功能

測(cè)定位置確認(rèn)功能
自動(dòng)校正

數(shù)據(jù)処理機(jī)能

統(tǒng)計(jì)量表示：平均、標(biāo)準(zhǔn)偏差、zui大、zui小、方差、Cp、Cpk
餅圖表示
柱狀圖表示
測(cè)定值立體圖表示
ｘ-R管理圖